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          高壓加速老化試驗箱測試半導體器件可靠性方法
          點擊次數(shù):432 更新時間:2025-02-25

          高壓加速老化試驗箱測試半導體器件可靠性方法

          一、前言

          在半導體器件的研發(fā)與生產(chǎn)過程中,確保其性能的可靠性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。高壓加速老化試驗箱能夠模擬各種惡劣環(huán)境條件,通過對半導體器件施加高電壓和高溫等應力,快速暴露潛在的缺陷和故障,大大縮短了產(chǎn)品可靠性驗證的時間。

          二、測試流程

          樣品準備:選擇一定數(shù)量且型號規(guī)格相同的半導體器件作為測試樣品,確保樣品外觀無明顯損傷、引腳無變形等。對每個樣品進行編號,記錄初始參數(shù),如正向?qū)妷骸⒎聪蚵╇娏鞯取?/span>

          試驗箱設(shè)置:根據(jù)半導體器件的特性和測試要求,設(shè)置高壓加速老化試驗箱的參數(shù)。包括設(shè)定老化電壓,一般為器件額定電壓的 1.5 - 2 倍;老化溫度,通常在 100 - 150℃之間;老化時間,可根據(jù)實際情況設(shè)定為 24 小時、48 小時或更長。

          樣品安裝:將編號后的半導體器件小心安裝在試驗箱的樣品架上,確保器件引腳與測試夾具連接牢固,避免虛接影響測試結(jié)果。

          測試過程:啟動試驗箱,開始老化測試。在老化過程中,每隔一定時間(如 1 小時)對樣品進行一次參數(shù)測量,記錄正向?qū)妷骸⒎聪蚵╇娏鳌⒔Y(jié)溫等參數(shù)變化。若發(fā)現(xiàn)某個樣品參數(shù)超出正常范圍,應立即標記并記錄相關(guān)情況。

          測試結(jié)束:達到設(shè)定的老化時間后,關(guān)閉試驗箱,待溫度降至室溫后,取出樣品。再次對所有樣品進行全面參數(shù)測量,并與初始參數(shù)進行對比分析,評估器件的老化性能。

          測試數(shù)據(jù)參考:

          樣品編號

          初始正向?qū)妷?/span> (V)

          老化 1 小時正向?qū)妷?(V)

          老化 2 小時正向?qū)妷?(V)

          老化 3 小時正向?qū)妷?(V)

          老化結(jié)束正向?qū)妷?/span> (V)

          初始反向漏電流 (A)

          老化 1 小時反向漏電流 (A)

          老化 2 小時反向漏電流 (A)

          老化 3 小時反向漏電流 (A)

          老化結(jié)束反向漏電流 (A)

          初始結(jié)溫 (℃)

          老化 1 小時結(jié)溫 (℃)

          老化 2 小時結(jié)溫 (℃)

          老化 3 小時結(jié)溫 (℃)

          老化結(jié)束結(jié)溫 (℃)

          1

          0.70

          0.71

          0.72

          0.73

          0.75

          1.00×10??

          1.20×10??

          1.50×10??

          1.80×10??

          2.20×10??

          30

          40

          50

          60

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          2

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          0.73

          0.74

          0.76

          1.10×10??

          1.30×10??

          1.60×10??

          1.90×10??

          2.30×10??

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